AMAT 0021-84531

产品名称：工艺腔室金属屏蔽罩组件产品简介：半导体等离子体工艺腔室的金属防护部件，采用高纯度合金材质，用于屏蔽射频电场、均匀化等离子体、保护腔室内壁，降低工艺污染...