AMAT 0020-27439

产品名称：腔体内部防护屏蔽环产品简介：安装于腔体边缘的高精度屏蔽环，隔离等离子体与腔体侧壁，减少副产物沉积，延长腔体寿命并降低颗粒污染。技术规格材质：高纯硅 /...