AMAT 0040-76652

产品名称：真空腔体加热基座组件产品简介：半导体真空腔体内部晶圆加热核心部件，为晶圆提供均匀、稳定的温度场，适配高温工艺制程。技术规格加热方式：电阻式 / 红外复...