AMAT 0200-03265

产品名称：等离子体聚焦均流环产品简介：安装于等离子体反应腔内部的聚焦环组件，用于约束等离子体分布、均匀电场与气流，提升晶圆边缘制程均匀性，保护腔体内部件。技术规...