AMAT 0200-20005

产品名称：等离子体屏蔽聚焦环组件产品简介：安装于等离子体反应腔内部的屏蔽与聚焦部件，用于约束等离子体分布、均匀电场与气流，提升晶圆制程均匀性并保护腔体内部件。技...