AMAT 0200-10555

产品名称晶圆承载台边缘防护环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台边缘，用于防护承载台边缘免受等离子体轰击与反应物污染，同时均匀化边缘工艺环境，提升晶圆边缘工艺均匀...