AMAT 0021-17526

产品名称腔体内部屏蔽环组件产品简介该组件安装于工艺腔体内部电极外围，用于屏蔽杂散电场、均匀等离子体分布、减少射频打火风险，同时保护腔体内部部件免受等离子体轰击与...