AMAT 0020-30085

产品名称腔体内部隔热支撑环组件产品简介该组件安装于晶圆承载台与底部结构之间，兼具隔热、支撑、绝缘功能，减少高温承载台热量向下传递，稳定腔体温度场，同时提供机械支...