AMAT 0020-08633

产品名称：真空腔室内衬组件产品简介：安装于半导体真空工艺腔室内壁的防护内衬，用于隔离等离子体与腔室主体结构，减少金属污染、延长腔室寿命、提升工艺一致性，适配 2...