Gasonics A95-027-03

产品名称：晶圆顶针组件（V3）产品简介：三顶针精密机械组件，用于工艺腔内部顶起晶圆，V3 强化耐用性与精度。技术规格：材质：高纯度氧化铝陶瓷顶针直径：3mm升降...