Gasonics AWD-D-2-8-4-001

产品名称：双路气体流量与压力集成控制模块产品简介：集成两路独立 MFC 与稳压单元，实现两种工艺气体的精确流量控制、稳压输出与混合配比，适用于需要稳定气体组分的...