• 产品名称：横河 AF-533-B3 质量流量控制器
• 产品简介：AF-533-B3 是横河 AF 系列质量流量控制器，专为气体流量控制设计，支持多种气体类型，具备高精度流量测量与控制功能，适配半导体、电子制造等行业的气体流量控制需求，为生产过程的气体供应提供精准控制解决方案。
• 技术规格
  • 测量介质：氮气、氧气、氢气等多种气体
  • 流量范围：0-100sccm
  • 测量精度：±1% 满量程
  • 控制精度：±0.5% 满量程
  • 响应时间：≤1s
  • 工作压力：0.1MPa 至 0.5MPa
  • 工作温度：0℃至 40℃
  • 输出信号：4-20mA DC，RS485 通信
  • 电源：24V DC，电流消耗约 200mA
  • 防护等级：IP20
• 功能特点
  • 适配多种气体类型，无需额外转换部件，通用性强
  • 高精度流量测量与控制，保障生产过程气体供应稳定，提升产品质量
  • 快速响应，满足动态流量控制需求，适配半导体制造设备
  • 支持 RS485 通信，可与上位机数据交互，适配网络化控制
  • 具备流量校准功能，可通过上位机进行远程校准，提升维护效率
• 应用场景：半导体晶圆制造的气体流量控制；电子元件封装的保护气体流量调节；实验室气相色谱仪的载气流量控制；化工行业的反应气体流量精准控制。