产品名称
275 系列 Mini-Convectron® 对流皮拉尼真空计模块(无显示屏欧洲版)
产品简介
本型号为 MKS / Granville-Phillips 旗下 275 系列产品,集成对流增强皮拉尼热传导真空测量技术与电子处理电路,可直接安装于真空腔体,提供非线性模拟电压输出及 1 路继电器设定点,用于真空联锁与阀门逻辑控制。
技术规格
- 测量原理:Convectron 对流增强皮拉尼(热传导)
- 量程:1×10⁻⁴ Torr ~ 760 Torr(大气压)
- 供电:13.6 ~ 26.5 VDC,最大 1.6 W
- 信号输出:非线性模拟电压
- 继电器:1 路可调阈值报警设定点
- 通信:RS-485(EU 欧洲版)
- 真空接口:NW16 KF 快卸法兰
- 电气连接器:9 针 D-SUB
- 工作温度:0 ~ 40℃;优先水平安装,禁止竖直倒置
材质构成
- 腔体:304 不锈钢
- 传感元件:镀金钨丝
- 探头可单独更换
功能特点
- 内置温度补偿
- 传感器断丝、硬件故障自检告警
- 板上旋钮设置 RS-485 站地址
- 无本地显示屏
应用场景
半导体腔体、镀膜设备、真空炉等粗真空至中真空段的精密压力测量。
安装要求
通过 NW16 KF 法兰直接安装在真空腔体上,确保密封面清洁无颗粒;供电采用 9 针 D-SUB 连接器。
使用注意事项
- 必须水平放置,禁止竖直倒置
- 非线性模拟输出需由上位机做信号调理或查表换算
- 同系列 275876-EU(双继电器)、275911-EU(带显示)与本型号输出/功能不同,不可直接互换




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