产品名称：DAQ 数据采集卡 / 模拟量接口板

产品简介：该型号是 Lam Research 为刻蚀与 CVD 设备开发的信号采集组件。公开资料对其定位存在两种描述：一种定义为 DAQ 数据采集卡（Data Acquisition Module），另一种定义为模拟量接口板。综合来看，其核心职能是在 Lam 刻蚀/CVD 设备内采集腔体压力、温度、RF 反射功率、气体流量、MFC 反馈等模拟与数字信号，供 PCS 工艺监控系统使用。

技术规格与性能参数：

功能特点：可对腔体/基板温度、压力、RF 功率等模拟信号进行冷端补偿、放大与滤波；板载仪用放大器，建立时间短；支持在线热插拔；采用铝壳体灌封，可在 -40°C 至 +85°C 下长期工作。

应用场景：Sym3、Versys、Centura、4420、Vector 等 Lam Research 刻蚀与 CVD 设备，用于腔压、温度、RF 反射等参数的高精度采集，支撑 7 nm 以下先进制程对温度均匀性 ±0.1°C 的严苛要求。

使用注意事项：该板卡工作于高真空与强 RF 环境，更换前须将设备置于 PM（预防性维护）模式并切断主电源与射频源；安装时通过 Euro-card 96-pin 盲插与机架背板对接，需注意对位精准。