产品名称：精密半导体工艺部件产品简介：专为半导体制造设备设计的高精度部件，用于等离子处理与光刻胶去除系统，是维持设备运行稳定性与工艺一致性的关键备件。技术规格
- 适用设备：Gasonics 等离子灰化机、刻蚀机平台
- 材质：高纯度、耐腐蚀合金
- 结构：精密机加结构件，尺寸公差严格功能特点
- 确保等离子稳定、可重复生成与分配
- 耐受强工艺化学物质侵蚀
- 实现可靠的晶圆传输与腔体密封应用场景
- 用于 Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列等离子处理系统
- 半导体晶圆厂光刻胶剥离、清洗、介质刻蚀工艺
- 先进材料处理与器件研发实验室
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 