产品名称：等离子腔体真空密封组件产品简介：Gasonics 等离子设备专用高真空密封组件，用于腔体法兰、观察窗、电极等关键部位密封，保障腔体高真空环境与工艺稳定性。技术规格
- 密封材质：全氟醚橡胶（Kalrez）+ 316L 不锈钢增强
- 适用真空度：≤1×10⁻⁸ Torr
- 工作温度：-30–300℃
- 适配腔体：Gasonics Aura 系列、L 系列等离子腔体
- 密封形式：中心圈 + 边缘双密封结构功能特点
- 超高真空密封性能，长期稳定无泄漏
- 耐高温、耐强腐蚀，适配 O₂、CF₄、SF₆等工艺气体
- 抗等离子体轰击，使用寿命长
- 安装定位精准，重复拆装密封性一致应用场景
- 半导体晶圆等离子去胶、清洗腔体密封
- 高真空等离子表面改性、刻蚀设备
- 化合物半导体、MEMS 工艺真空腔体密封
- 科研实验室超高真空等离子系统
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 