产品名称：等离子体射频电源控制模块产品简介：Gasonics AWD 系列射频电源的核心控制单元，负责功率闭环调节、状态监控与保护逻辑执行，适配中小功率等离子设备。技术规格
- 工作电压：24V DC
- 控制信号：0–10V 模拟量 + 数字 I/O
- 通信接口：RS485（Modbus RTU）
- 工作温度：0–55℃
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 功率控制精度 ±0.5%，输出稳定
- 实时监控电压、电流、驻波比，异常立即报警
- 支持与设备主控系统通信，实现工艺参数追溯
- 具备过流、过压、过热、驻波比超限多重保护应用场景
- 与 Gasonics AWD 系列射频电源配套使用
- 4–8 英寸半导体晶圆等离子去胶与清洗
- 分立器件、传感器等离子表面处理
- 高校、研究所基础等离子工艺实验
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 