产品名称：等离子体射频电源模块（标准型）产品简介：Gasonics AWD 系列标准功率射频电源，用于激发并维持工艺腔体内等离子态，是半导体基础等离子工艺的核心动力源。技术规格
- 输出功率：200–500W
- 工作频率：13.56MHz
- 输出模式：连续波（CW）+ 低占空比脉冲
- 冷却方式：强制风冷
- 控制接口：标准 DB9 + 模拟量监控端口功能特点
- 功率输出稳定，纹波≤1%，保障等离子体均匀性
- 启动平滑，无冲击电流，延长设备寿命
- 模块化设计，安装、维护便捷
- 与 Gasonics 主流等离子设备高度兼容应用场景
- 半导体晶圆光刻后光刻胶灰化（去胶）
- 氧等离子清洗、表面活化与预处理
- 微机电系统（MEMS）基础工艺
- 科研实验室等离子体表面改性
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 