产品名称：等离子腔体观察窗密封组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体观察窗专用密封组件，确保观察窗高真空密封，同时耐受等离子体环境侵蚀。技术规格
- 密封材质：氟橡胶（Viton）+ 金属衬垫
- 适用真空度：≤1×10⁻⁶ Torr
- 工作温度：-20–250℃
- 适配窗口：直径 100–150mm 石英 / 蓝宝石观察窗
- 密封压力：≥0.5MPa功能特点
- 高真空密封性能，无泄漏
- 耐高温、耐等离子体腐蚀
- 安装便捷，定位精准
- 重复使用性好，维护成本低应用场景
- 等离子腔体内部工艺过程实时观察
- 设备维护、腔体清洁时的观察窗口密封
- 工艺状态监控与异常排查
- 手动样品装载与对位辅助观察
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 