产品名称：等离子设备气体流量控制模块产品简介：Gasonics 等离子设备专用气体流量控制组件，用于精确控制工艺气体流量与配比，保障工艺一致性与重复性。技术规格
- 控制气体：惰性气体、反应性气体（O₂、Ar、CF₄等）
- 流量范围：0–500sccm
- 控制精度：±1% F.S.
- 响应时间：<80ms
- 接口：VCR 接头 + 模拟 / 数字控制信号功能特点
- 流量稳定，不受温度、压力波动影响
- 具备气体泄漏检测与报警功能
- 模块化设计，便于校准与更换
- 兼容 Gasonics Aura、L 系列等离子设备应用场景
- 半导体等离子清洗、去胶工艺气体控制
- 薄膜沉积（PECVD）前驱体气体精确配比
- 微加工、表面改性工艺气氛控制
- 科研实验中多种气体组合的精确调控
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 