产品名称：等离子腔体温度传感器组件产品简介：Gasonics 等离子设备腔体与载台温度测量专用传感器，为温度控制系统提供精确温度反馈，保障工艺温度稳定。技术规格
- 传感器类型：PT1000 铂电阻
- 测量范围：-40–450℃
- 测量精度：±0.2℃
- 响应时间：<1.5s
- 防护等级：IP67（腔体内部安装）功能特点
- 高精度温度测量，控温准确性高
- 快速响应，实时反馈温度变化
- 耐腐蚀、耐高温，适应等离子环境
- 信号稳定，抗电磁干扰能力强应用场景
- 半导体晶圆等离子去胶（光刻胶灰化）温度测量
- 等离子清洗、表面活化工艺温度监控
- 化合物半导体高温等离子处理温度反馈
- 平板显示、光伏制程等离子工艺温控
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 