产品名称：Baratron® 979B 系列电容薄膜真空规（电容薄膜式绝对压力传感器）

产品简介：MKS Instruments 979B-01-0013 是基于电容薄膜式绝对压力测量原理的真空规，通过金属膜片形变检测压力，不依赖气体热导率，具有气体无关性，广泛应用于对过程控制精度要求极高的半导体制造、先进材料沉积及高真空工艺控制场景。

所属系统：Baratron® 979B 系列电容薄膜规

测量原理：电容薄膜式（绝对压力），通过金属膜片形变检测压力，不依赖气体热导率

量程范围：10 Torr（等效 13.3 mbar 或 1333 Pa），覆盖中低真空关键工艺区间

输出信号：同时提供 0-10 V 模拟输出与 RS485 Modbus RTU 数字通信

精度等级：±0.25% of reading（典型值），在全量程内保持高线性度

温度系数：< 0.02% / °C，内置温度补偿算法

响应时间：≤ 100 ms（10%-90% 阶跃响应）

工作温度：0°C 至 +50°C（电子部分），传感器头可耐受更高工艺温度

电气接口：DB15 母头 + 可选 M12 工业连接器

认证标准：CE、RoHS、符合 SEMI F57 半导体设备安全规范

应用场景：半导体前道和光伏镀膜领域的关键工艺节点，尤其适用于需要闭环压力控制的原子层沉积（ALD）、反应离子刻蚀（RIE）等场景；其气体无关特性显著提升了多气体切换工艺的控制一致性