产品名称：角隔离阀（Angle Isolation Valve）

产品简介：839-13521-1 是 MKS Instruments 旗下 HPS 品牌生产的角隔离阀，专为真空与压力应用设计，具有极低的泄漏率以确保系统清洁度与真空度，响应速度快，可实现精确的流量控制。

技术规格与性能参数：

功能特点：超低泄漏率保证系统清洁与真空度；响应速度快，实现精确的流量控制；提供多种配置以满足不同应用需求。

应用场景：半导体制造（气体分配、真空系统、刻蚀工艺）；分析仪器（气体分析、真空系统、质谱仪）；光学镀膜（气体分配与真空系统）；研发领域的各类气体控制应用。

安装要求：采用 CF 法兰连接，安装时须使用正确的金属垫圈并按扭矩规范紧固，以保证真空密封性。

使用注意事项：气动版本需提供洁净压缩空气；工作温度范围宽，但在极端温度下需确认密封件兼容性；泄漏率指标依赖正确的安装与法兰面清洁度。