AMAT 0010-29958

产品名称：晶圆静电吸盘（ESC）产品简介：半导体刻蚀与沉积工艺中的核心部件，通过静电吸附固定晶圆，同时具备晶圆温度控制功能，适配 AMAT 300mm 晶圆的刻...