AMAT 0040-01839

产品名称：高压直流电源产品简介：用于半导体工艺设备的高压直流供电设备，为腔室内部的电极、静电吸盘等部件提供稳定高压，适配 AMAT 刻蚀与沉积设备的高压供电系统...