• 产品名称：高压直流电源
• 产品简介：用于半导体工艺设备的高压直流供电设备，为腔室内部的电极、静电吸盘等部件提供稳定高压，适配 AMAT 刻蚀与沉积设备的高压供电系统。
• 技术规格
  • 输出电压：0~10kV
  • 输出电流：0~100mA
  • 电压精度：±0.5% FS
  • 纹波系数：≤0.1%
  • 工作效率：≥90%
• 功能特点
  • 采用高频开关电源技术，体积缩小 50%，节省设备安装空间
  • 具备电压与电流的双闭环控制，输出稳定，不受负载波动影响
  • 内置过流保护、过压保护、电弧保护模块，响应时间≤10μs
• 应用场景：半导体晶圆的反应离子刻蚀（RIE）设备、感应耦合等离子体刻蚀（ICP）设备，以及静电吸盘的高压供电系统。