• 产品名称：设备冷却系统专用板式换热器
• 产品简介：用于半导体设备的冷却系统，高效交换设备运行过程中产生的热量，适配 AMAT 刻蚀机、沉积设备的冷却回路，保障设备稳定运行。
• 技术规格
  • 换热面积：2m²
  • 最大工作压力：1.6MPa
  • 换热效率：≥90%
  • 适配介质：去离子水、乙二醇水溶液
  • 工作温度：-10℃~80℃
• 功能特点
  • 采用不锈钢板式结构，换热效率比传统管式换热器提升 40%
  • 可拆卸设计，便于清洁与维护，减少结垢对换热效率的影响
  • 具备温度与压力监测接口，实时反馈换热系统运行状态
• 应用场景：半导体设备的腔室冷却、射频电源冷却、伺服电机冷却，以及数据中心服务器的冷却系统。