0090-07135 是 Applied Materials 面向 AMAT 刻蚀腔体系列设计的高性能半导体工艺控制模块，基于 Advanced TCA（ATCA）平台，在先进晶圆制造中提供可靠的实时工艺控制、现场数据采集与设备互联通信。渠道商亦常将其标注为 MFC 质量流量控制器或真空泵模块，参数差异较大，选型时须核对实际装机平台。

半导体制造、光电子器件制造、科研实验；涉及晶圆清洗、刻蚀、沉积、薄膜沉积与封装等工艺的温度、压力、真空度控制。

模块插入 ATCA 背板，由背板提供 12 V／5 V 电源；处理器运行工艺控制算法，通过以太网／RS-232 与主机及腔体组件通信，采集现场传感器数据并驱动泵、阀门等执行机构，实现工艺参数的闭环稳定控制。

安装于 ATCA 标准机框，通过背板连接器对位插入；保证机箱内风冷通道畅通；做好接地与屏蔽。