产品简介
0100-09123 是 Applied Materials 为 P5000(Precision 5000)系统设计的晶圆传感器板,用于半导体制造过程中检测与监控晶圆的在位状态与位置,是保障晶圆传输与工艺监控可靠性的传感组件。部分渠道资料亦将其描述为测量晶圆厚度、均匀性与缺陷的检测板。
技术规格
- 制造商:Applied Materials(AMAT)
- 产品类别:Wafer Sensor Board(晶圆传感器板)
- 适用系统:AMAT P5000 Precision 5000 系统
- 工作电压:24 VDC
- 工作温度范围:0°C 至 +50°C(部分资料标注 -20°C 至 +85°C)
- 湿度范围:5% 至 95% RH(无冷凝)
- 防护等级:IP20(部分标注 IP65)
- 尺寸(宽×高×深):10.5 cm × 15 cm × 5 cm(约 200 mm × 200 mm × 20 mm)
- 重量:1.2 kg
- 通信:DeviceNet、RS-485
- 认证:SEMI S2、SEMI F47、CE
功能特点
- 高精度感测与测量,适合精密工艺
- 结构耐用,可承受晶圆厂的苛刻环境
- 与多种 AMAT 晶圆处理系统兼容,集成便捷
- 安装与维护简便,减少停机时间
应用场景
晶圆检测(在位/位置监控)、晶圆传输(转移过程精确控制)、工艺监控(生产线中晶圆位置与存在监测);亦用于晶圆制造、半导体器件封装、太阳能电池制造中的厚度与均匀性测量。
工作原理
传感器板通过光学/位置传感元件检测晶圆边缘与在位状态,将信号经调理后通过 DeviceNet/RS-485 传送给主控系统,实现对晶圆位置、存在与否的实时监控与联锁。
安装要求
安装于 P5000 系统的传感器工位,通过背板或连接器对位插接;使用屏蔽电缆并正确接地,减少电磁干扰;环境满足温度、湿度与无冷凝要求。
使用注意事项
- 定期检查连接有无磨损,用防静电布清洁模块
- 建议年度全面校准、季度泄漏检查(推荐氦质谱)
- 每 2 年更换 O 型圈,并验证接地阻抗(< 1 Ω)
- 安装、维护时做好防静电(ESD)防护





Amat 0100-71229
Amat 0100-71224
Amat 0090-07135