产品简介
0040-96157 是 Applied Materials 半导体设备的 ACP 不锈钢真空腔室门组件，采用 Viton 氟橡胶密封，用于工艺腔室的物理隔离与高真空密封，适配刻蚀、沉积、清洗等各类半导体制程设备。
技术规格
- 制造商：Applied Materials（AMAT）
- 产品类型：真空腔室门组件（ACP Door Assembly）
- 主体材质：316L 不锈钢（耐腐蚀、耐高温、洁净室兼容）
- 密封材质：Viton（氟橡胶）O 型圈／垫片
- 工作温度：-40°C 至 +200°C
- 真空密封等级：10⁻⁹ Torr 级
- 化学兼容：耐 HF、HCl、NH₃、CF₄ 等工艺气体
- 适配设备：AMAT Centura、Endura、Producer 等
- 重量：约 6.18 kg
- 产地：美国
功能特点
- Viton 密封 + 精密加工，实现 10⁻⁹ Torr 级高真空保持
- 316L 不锈钢 + Viton 耐受强腐蚀工艺气体与等离子体侵蚀
- 低释气、低颗粒，符合 Class 10/1 洁净室标准
- 结构坚固，抗变形、抗振动，保障长期稳定
- 密封件可快速更换，降低维护停机时间
- 标准化原厂设计，与设备 100% 兼容，无需改装
应用场景
集成电路（IC）制造与晶圆代工中，AMAT 各类 CVD／PVD 薄膜沉积与刻蚀设备腔室的维护与密封，是必备的真空密封耗材。
结构特征
ACP（Active Chamber Panel）集成式门，含门框、密封槽、铰链／锁扣接口；表面经电解抛光／钝化处理，低颗粒、低释气，符合 SEMI 标准。
工作原理
通过门框压紧 Viton 密封圈形成真空密封面，在闭合时均匀压紧，阻隔外部杂质进入工艺腔室，维持内部高真空环境的纯净度。
安装要求
适配 AMAT 标准腔室法兰，螺栓固定，支持快速拆装；安装时对齐法兰面并均匀紧固，确保密封面平整贴合。
使用注意事项
- 定期检查 Viton 密封圈有无老化、变形，及时更换
- 拆装时避免划伤密封面与门框
- 按 PM（预防性维护）周期更换密封件，减少微泄漏风险
Amat 0100-71229 
Amat 0100-71224 
Amat 0100-09123 
Amat 0090-07135 