产品简介
0010-23716 是 Applied Materials(应用材料,AMAT)为先进半导体制造设备研发的高精度辐射高温计组件,采用高灵敏度红外辐射测温探头,对晶圆表面进行非接触式实时温度监测,是快速热处理(RTP)工艺的关键传感部件。亦有渠道商将其归类为气门执行器(Valve Actuator),用于真空腔体阀门开关——采购时须以实际装机系统为准。
技术规格
- 制造商:Applied Materials(AMAT)
- 产品类别:Pyrometer Assembly(辐射高温计组件)
- 所属系统:AMAT Centura Radiance RTP / Vantage RTP 快速热处理设备
- 适用晶圆尺寸:300 mm(12 英寸)
- 光学传感:高灵敏度红外辐射测温探头
- 工作环境:洁净室,耐高真空及高温热辐射
- 安装方式:腔体精密光学窗口嵌入式安装
- 结构:精密组装件,含光学透镜与信号传输线缆
功能特点
- 非接触式测温,避免污染晶圆表面
- 极低漂移、高信噪比与快速热响应,适合毫秒级温度控制
- 直接嵌入腔体光学窗口,光路对准精度高
- 为 RTP 工艺的实时温控反馈提供可靠信号
应用场景
Centura / Vantage Radiance RTP 快速热处理设备;晶圆制造中的退火、快速升温等需精确温控的工艺环节。
工作原理
基于红外辐射测温原理:晶圆表面向外辐射的红外能量被探头透镜聚焦至探测器,转换为电信号,经组件内信号处理链路传输至温控系统,实现对晶圆温度的实时监测与闭环控制。
安装要求
在洁净室环境下操作,通过腔体光学窗口精密嵌入安装;注意透镜清洁与光路对准;线缆走线避免受压、弯折。
使用注意事项
- 保持光学窗口与透镜洁净,避免污染影响测温精度
- 避免超出高真空、高温耐受范围
- 安装、维护时做好防静电措施




Amat 0100-71229
Amat 0100-71224
Amat 0100-09123
Amat 0090-07135