该阀门是半导体制造设备中用于隔离超高真空环境的气动角阀，采用金属密封技术，确保在极端真空条件下的零泄漏性能，广泛应用于工艺腔室与真空泵之间的管路隔离。

产品型号：0190-07970

制造商：Applied Materials (AMAT)

阀门类型：气动角阀

连接方式：VCR 金属面密封

通径尺寸：根据设备配置

工作压力：从大气压至 1×10^-9 Torr

驱动方式：压缩空气

密封材料：无氧铜或镍合金

阀体材质：316L 不锈钢

金属对金属密封，满足超高真空要求

低颗粒产生设计，符合半导体洁净标准

双向密封，可承受高压差

快速响应，开启与关闭时间小于 1 秒

半导体薄膜沉积设备真空管路

离子注入机真空系统

真空负载锁模块

阀体：316L 不锈钢锻件

密封件：退火无氧铜垫圈

气动执行器：阳极氧化铝

内部零件：经电解抛光的 stainless steel

直角流式设计，减少流阻

波纹管密封气动活塞

位置传感器指示阀门开闭状态

模块化设计，便于在线维护

当压缩空气进入气动执行器气缸时，活塞推动阀杆，使阀芯脱离阀座，阀门开启；断气时，弹簧力使阀芯压紧阀座，实现金属密封关闭。位置传感器通过磁耦合方式检测活塞位置并输出信号。

安装方向需符合流体流向标识

连接面需清洁，无颗粒物污染

扭矩需按手册规定值均匀紧固

气动管路需配备过滤减压阀及油雾分离器

严禁超限使用，避免密封面损伤

定期更换气动系统滤芯

禁止在阀门半开状态下长期运行

维修前需确保腔室已回充大气并断电断气