AMAT 0190-70076

产品名称：设备运动控制驱动模块产品简介：AMAT 自动化设备的核心驱动部件，用于控制晶圆传送机械臂、腔室阀门、工件台等运动机构的运行，集成驱动电路、控制芯片与保...