• 产品名称：设备运动控制驱动模块
• 产品简介：AMAT 自动化设备的核心驱动部件，用于控制晶圆传送机械臂、腔室阀门、工件台等运动机构的运行，集成驱动电路、控制芯片与保护模块，适配 EtherCAT 实时通信协议，支持多轴协同控制。
• 技术规格
  • 输出功率：3kW
  • 控制轴数：单模块支持 4 轴同步控制
  • 位置控制精度：±0.005mm
  • 速度控制范围：0~1000mm/s
  • 通信接口：EtherCAT，通信速率 100Mbps
  • 供电电压：AC 380V，三相，50/60Hz
  • 防护等级：IP65
• 功能特点
  • 采用矢量控制算法，电机运行效率≥96%，能耗降低 15%
  • 内置运动轨迹规划模块，支持 S 型加减速控制，减少机械冲击
  • 具备过流、过压、过热、过载等多重保护功能，响应时间≤10μs
  • 支持远程诊断与参数调整，适配半导体智能制造的远程运维需求
  • 兼容 AMAT 设备控制系统，可直接接入设备控制网络，无需额外适配
• 应用场景：半导体晶圆传送机械臂、腔室自动门驱动系统、工件台精密定位机构、设备阀门控制单元，适配 200mm 与 300mm 晶圆的自动化生产线。