• 产品名称：晶圆传送机械臂防撞保护传感器
• 产品简介：专为 AMAT 晶圆传送机械臂设计的安全监测部件，用于实时检测机械臂运行路径上的障碍物，避免机械臂与晶圆、腔室部件发生碰撞，保障晶圆与设备安全，适配 EFEM 设备与腔室内部传送机械臂。
• 技术规格
  • 检测原理：激光三角测距
  • 检测距离：50mm~500mm
  • 检测精度：±0.1mm
  • 响应时间：≤1ms
  • 输出信号：PNP 常开 / 常闭可选
  • 工作温度：0℃~40℃
  • 防护等级：IP67
  • 安装尺寸：φ25mm 圆柱形外壳，适配机械臂末端安装接口
• 功能特点
  • 具备多区域检测功能，可同时监测机械臂前端、侧面与底部三个区域
  • 内置温度补偿模块，在设备运行温度波动时检测精度保持稳定
  • 支持检测参数自定义设置，适配不同尺寸晶圆（200mm/300mm）的传送场景
  • 与机械臂驱动系统联动，检测到障碍物时 0.5ms 内触发急停，碰撞防护响应迅速
• 应用场景：半导体设备前端模块（EFEM）的晶圆传送机械臂、腔室内部晶圆搬运机械臂、自动化存储系统的晶圆传送机构，适用于 200mm 与 300mm 晶圆的自动化生产环境。