• 产品名称：设备状态监测数据采集模块
• 产品简介：用于半导体设备运行参数实时采集与传输的核心部件，可接入温度、压力、流量、振动等多种传感器信号，将数据传输至设备控制系统与工厂 MES 系统，适配 AMAT 全系列半导体制造设备。
• 技术规格
  • 模拟输入通道：16 路，分辨率 16 位
  • 数字输入 / 输出通道：32 路 DI+16 路 DO
  • 采样频率：100Hz
  • 通信接口：EtherNet/IP、PROFINET 双协议
  • 数据存储容量：8GB，支持数据本地缓存
  • 供电电压：DC 24V，功耗≤10W
  • 工作温度：-10℃~50℃
• 功能特点
  • 支持传感器热插拔，更换传感器时无需停止设备运行
  • 内置数据预处理模块，可对采集数据进行滤波、校准，数据准确性提升至 99.9%
  • 具备数据断点续传功能，网络中断时本地缓存数据，网络恢复后自动上传
  • 支持边缘计算，可在模块内部实现设备异常预警算法，提前 5 分钟预警潜在故障
• 应用场景：半导体刻蚀机、沉积设备、离子注入机、CMP 设备的运行状态监测，适配半导体工厂智能制造的工业 4.0 数据采集需求，用于设备预测性维护与生产过程追溯。