AMAT 0020-09636

产品名称：腔室内部加热基座组件产品简介：安装在半导体工艺腔室底部的晶圆加热部件，用于为晶圆提供稳定的工艺温度环境，适配 AMAT 200mm 晶圆刻蚀与沉积设备...