AMAT 0010-39912

产品名称：晶圆静电吸盘（ESC）电极组件产品简介：半导体刻蚀工艺中静电吸盘的核心部件，用于产生静电吸附力固定晶圆，同时作为射频电极传输射频功率，适配 AMAT ...