• 产品名称：晶圆静电吸盘（ESC）电极组件
• 产品简介：半导体刻蚀工艺中静电吸盘的核心部件，用于产生静电吸附力固定晶圆，同时作为射频电极传输射频功率，适配 AMAT 300mm 晶圆刻蚀设备的静电吸盘系统。
• 技术规格
  • 电极材质：高纯单晶硅，电阻率≤0.01Ω・cm
  • 电极结构：双极型，对称式设计
  • 静电吸附力：0~500N，连续可调
  • 射频传输频率：13.56MHz/27MHz/60MHz 兼容
  • 工作温度：-40℃~180℃
  • 真空耐受度：10⁻⁹ Torr
  • 适配晶圆尺寸：300mm
• 功能特点
  • 双极电极设计使静电吸附力分布均匀，晶圆吸附平整度误差≤0.02mm
  • 电极表面经过抛光处理，粗糙度 Ra≤0.05μm，减少工艺颗粒产生
  • 具备射频屏蔽功能，降低射频干扰对晶圆工艺的影响
  • 与冷却系统联动，在吸附晶圆时同步实现温度控制，保障刻蚀均匀性
• 应用场景：300mm 晶圆的等离子体刻蚀工艺，包括逻辑芯片的栅极刻蚀、存储芯片的深沟槽刻蚀、先进封装的 TSV 刻蚀等，适配 7nm 及以下先进制程。