• 产品名称：设备电源分配控制板
• 产品简介：AMAT 半导体设备的核心电源管理部件，用于将外部输入电源分配至设备各子系统（如射频电源、加热系统、驱动系统等），同时具备电源监测、过载保护与故障诊断功能，适配全系列 AMAT 半导体制造设备。
• 技术规格
  • 输入电压：AC 380V，三相
  • 输出通道：8 路，每路输出功率 2kW~10kW 可调
  • 电压监测精度：±0.2% FS
  • 电流监测精度：±0.3% FS
  • 保护响应时间：≤50μs
  • 控制接口：RS485 与 CAN 总线
  • 工作温度：0℃~40℃
  • 防护等级：IP40
• 功能特点
  • 采用模块化设计，单路输出故障时不影响其他通道正常工作
  • 内置电源质量分析模块，可实时监测电压谐波、电流波动等参数
  • 支持远程电源开关控制，适配设备远程运维需求
  • 故障诊断功能可精准定位电源故障位置，故障排查时间缩短 60%
• 应用场景：半导体刻蚀机、沉积设备、离子注入机、CMP 设备的电源分配与管理，适配 200mm 与 300mm 晶圆的半导体生产线，保障设备各子系统稳定供电。