• 产品名称：数字信号处理控制模块
• 产品简介：用于 AMAT 设备控制系统的核心信号处理部件，负责处理设备各类数字信号（如传感器数据、控制指令等），执行逻辑运算与控制算法，适配刻蚀、沉积、传送等各类半导体设备的控制需求。
• 技术规格
  • 处理器：FPGA+ARM 双核架构，FPGA 型号 Xilinx Kintex-7，ARM 主频 1.5GHz
  • 内存：4GB DDR4
  • 存储：64GB eMMC
  • 数字输入 / 输出通道：64 路 DI，32 路 DO
  • 通信接口：EtherCAT×2，USB 3.0×2
  • 工作温度：-10℃~60℃
  • 功耗：≤25W
• 功能特点
  • FPGA 负责实时信号处理，响应时间≤1μs，ARM 负责系统控制与通信，分工明确
  • 支持控制算法自定义编程，适配不同设备的工艺控制需求
  • 具备数据加密功能，保障工艺参数与设备数据安全
  • 内置冗余设计，核心部件故障时自动切换至备用模块，设备运行连续性提升
• 应用场景：半导体设备的工艺控制单元、运动系统控制模块、真空系统控制部件，适配 200mm 与 300mm 晶圆的先进制程设备，尤其适用于对控制精度与响应速度要求高的工艺环节。