AMAT 0020-20726

产品名称：工艺腔室石英屏蔽环产品简介：安装在半导体工艺腔室内部的石英防护部件，用于保护腔室壁面免受等离子体与工艺气体侵蚀，同时引导等离子体均匀分布，适配 AMA...