AMAT 0030-70085

产品名称：狭缝阀（Slit Valve）产品简介：这是半导体工艺腔室的关键密封阀门，用于实现腔室与晶圆传送通道之间的隔离与连通，在保障腔室真空度与工艺气体纯度的...