• 产品名称：狭缝阀（Slit Valve）
• 产品简介：这是半导体工艺腔室的关键密封阀门，用于实现腔室与晶圆传送通道之间的隔离与连通，在保障腔室真空度与工艺气体纯度的同时，快速完成晶圆的传入与传出，是真空工艺设备的核心部件之一。
• 技术规格
  • 通径：150mm，适配腔室：AMAT Endura 300mm 腔室
  • 材质：阀体不锈钢 316L，密封件：全氟醚橡胶（Kalrez）
  • 工作压力：1×10^-9 Torr 至 1atm，泄漏率：≤1×10^-10 mbar・L/s
  • 驱动方式：气动，开关时间：≤2s，工作温度：-30℃至 180℃
• 功能特点
  • 采用单刀双密封结构，密封性能优异，有效防止腔室气体泄漏与外部空气渗入
  • 开关动作平稳，无颗粒产生，满足半导体工艺的洁净度要求
  • 配备位置传感器，实时反馈阀门开关状态，与设备主控系统联锁
  • 结构紧凑，安装维护便捷，使用寿命≥50000 次开关循环
• 应用场景：用于 AMAT Endura 系列 PVD、CVD 等 300mm 晶圆工艺设备，适配刻蚀、沉积等真空工艺腔室，保障工艺过程的真空环境稳定。