• 产品名称：高压直流电源模块
• 产品简介：该模块是半导体离子注入、静电卡盘等设备的专用供电部件，可提供稳定的高压直流输出，为工艺过程中的离子加速、晶圆静电吸附等提供可靠电力支持，保障工艺参数的精准控制。
• 技术规格
  • 输出电压：0-10kV，输出电流：0-500mA，输出功率：5kW
  • 电压精度：±0.1%，纹波系数：≤0.05%
  • 输入电压：380VAC（三相），功率因数：≥0.95
  • 冷却方式：强迫风冷，工作温度：0℃至 40℃
  • 通信接口：RS232，支持远程监控与参数设置
• 功能特点
  • 采用高频开关电源技术，转换效率高达 92%，能耗低
  • 具备电压电流双闭环控制，输出稳定，抗干扰能力强
  • 内置过压、过流、短路、过热等多种保护功能，故障响应时间≤10μs
  • 支持软启动功能，避免启动时的电流冲击损坏负载设备
• 应用场景：适配 AMAT 离子注入机、静电卡盘系统等半导体设备，用于离子加速、晶圆静电吸附等工艺环节，保障离子注入剂量精度与晶圆夹持稳定性。