• 产品名称：直流伺服驱动器（DC Servo Driver）
• 产品简介：这是为 AMAT 半导体设备中的直流伺服电机量身打造的驱动控制装置，负责为电机提供精准的电流、电压输出，实现电机的位置、速度和扭矩的精确控制，保障设备运动机构的稳定运行。
• 技术规格
  • 额定输出功率：2.5kW，适配电机类型：直流伺服电机（额定电压 48VDC）
  • 控制精度：位置控制 ±0.001mm，速度控制 ±1rpm
  • 输入电压：三相 380VAC，输出电流：0-60A
  • 通信接口：RS485，支持 Modbus 协议，冷却方式：风冷
  • 尺寸：200mm×150mm×80mm，安装方式：DIN 导轨安装
• 功能特点
  • 采用 PID 闭环控制算法，响应速度快，无超调，运行平稳
  • 具备过流、过压、欠压、过热、电机堵转等多重保护功能
  • 支持参数在线调整与存储，可适配不同负载特性的伺服电机
  • 内置故障诊断模块，实时反馈运行状态，便于快速排查故障
• 应用场景：适配 AMAT 0010 系列伺服电机，用于半导体设备中的晶圆承载台驱动、腔室门开关机构、传送机械臂关节驱动等，广泛应用于光刻、刻蚀等高精度工艺设备。