AMAT 0020-99641

产品名称：腔室屏蔽环组件产品简介：该组件是半导体设备反应腔室的重要防护部件，用于保护腔室内部壁面免受等离子体侵蚀和工艺副产物沉积，同时辅助维持腔室内的等离子体均...