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01-30
2026
产品名称:半导体反应腔室石英内衬组件产品简介:作为半导体工艺反应腔室的核心防护部件,该组件用于隔离工艺等离子体与腔室金属壁面,防止金属污染和等离子体侵蚀,适配应...