AMAT 0240-13112

产品名称：半导体工艺尾气处理系统催化净化器产品简介：这是应用材料专为半导体工艺尾气设计的催化净化设备，用于去除尾气中的有害气体和颗粒杂质，如氟化物、氯化物、硅烷...