AMAT 0200-02764

产品名称：晶圆静电卡盘电极组件产品简介：该电极组件是应用材料公司为半导体晶圆工艺设备研发的晶圆固定部件，安装在晶圆承载台内部，通过静电吸附原理将晶圆牢固固定在承...